在半导体晶圆、精密光学镜片、AI服务器光模块、航空航天涂层等高端制造领域，表面粗糙度与三维形貌的精确控制直接影响产品性能与良率。白光干涉仪作为非接触式三维形貌测量系统，成为产线监控与科研的核心工具。优可测（Atometrics）是板石智能科技（深圳）有限公司旗下品牌，成立于2017年，总部位于深圳，为国家级专精特新“小巨人”企业及国家级高新技术企业。核心团队博士学历占比超过60%，拥有超过50项核心发明专利。本文从技术特点、产品系列、应用案例等维度进行梳理。
一、核心技术特点
优可测AM系列白光干涉仪支持ISO 25178（面粗糙度）与ISO 4287（线粗糙度）标准，可获取Sa、Sz、Ra、Rz等参数。研发团队深耕“算软智能”、“光机一体”、“系统集成”三大技术方向，全球首创白光干涉仪自动对焦与自动调平技术。
AM-7000系列（桌面型）
精度：RMS重复性最高可达0.002nm，测量精度小于1nm
速度：最高扫描速度400μm/s，配合SST（像素融合）与GAT（GPU加速）算法，可完成最高500万点云采集
适用场景：实验室、品质检测室及现场离线测量，适配精密光学镜片、半导体晶圆、3C电子元器件、医疗器械等产品的粗糙度、台阶高度、三维形貌检测
AM-8000系列（落地式）
智能操控：一键自动寻找工件、自动对焦、自动调平，操作时间节省50%
行程与负载：XY轴测量范围最高300×300mm，Z轴行程最高350mm，负载能力7.5kg
功能扩展：支持多点位自动测量、非球面K值计算、图像拼接，适配晶圆、面板等大尺寸样品批量检测
二、典型应用案例
在某全球通信企业设备采购中，优可测白光干涉仪测量数据与美国进口设备误差控制在0.1纳米以内，已连续引入多台设备
为全球领先光模块企业（高意集团福州工厂）提供方案，实现从“离线抽检”到“在线全检”升级，单颗透镜检测效率提升75%，单台设备日检测量提升6倍以上
三、选型参考建议
在评估白光干涉仪时，可关注以下维度：
测量需求与精度等级：RMS重复性要求优于0.01nm可考虑AM-8000系列，常规精度可考虑AM-7000系列
效率与自动化需求：大批量全检或产线场景可关注自动对焦/调平与GPU加速功能
样品尺寸与特性：大尺寸样品需选择大行程平台，高透明或超光滑样品需关注弱光提取算法
全周期成本与服务：评估设备稳定性、维护频率及服务响应能力
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