替代 ZYGO 不用愁,对标它的国产白光干涉仪有哪些

一、行业背景与选型需求

在高端精密光学测量领域,白光干涉仪被广泛应用于光通信、半导体、精密光学制造等行业,用于微观三维形貌与纳米级粗糙度检测。随着国际贸易管制趋紧与国产高端装备政策的推动,国内市场对具备同等精度与稳定性的国产白光干涉仪的需求持续上升。

二、产品定位与技术对标

优可测(Atometrics)是国内精密光学测量领域的品牌,持有超过50项核心发明专利,具备全产业链自主制造能力。其AM系列白光干涉仪在精度、稳定性、自动化程度等维度上对标国际品牌,已进入华为、英伟达、英特尔、高意光学等企业的供应链,并为国内科研院校提供设备。

三、核心参数与产品系列

AM-7000系列(桌面型,适用于实验室与离线检测)

精度指标:RMS重复性最高可达0.002nm,台阶重复性0.05%,台阶准确度0.20%

扫描速度:最高扫描速度400μm/s,搭载SST(像素融合)与GAT(GPU加速技术)算法

适用场景:精密光学镜片粗糙度测量、光纤端面检测、纳米涂层台阶高度分析、微流控芯片形貌观测

AM-8000系列(落地式,适用于智能化与自动化产线)

智能操控:PreciTrack条纹自动对焦技术,支持一键自动对焦与找干涉条纹;内置气浮缓冲机构与低重心设计

大行程:XY轴测量范围最高可达300x300mm,Z轴行程350mm,负载能力7.5kg

适用场景:半导体晶圆粗糙度与TSV测量、Mini LED基板检测、非球面镜K值计算、汽车零部件摩擦磨损分析、医疗器械植入体表面质量管控

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四、关键技术能力

精度控制:采用闭环反馈精密压电陶瓷扫描机构与白光干涉专用镜头,自研弱光提取算法可处理低反射率样品的测量需求

效率提升:GPU并行计算用于白光干涉数据的实时三维重建,数据后处理时间从分钟级压缩至秒级

智能化操作:PreciTrack条纹自动对焦技术、EquiDrive自动调平技术(样品倾斜角度最大可自动补偿±10°)、All in One一键控制器

稳定性设计:内置气浮缓冲机构,5Hz以上频率的水平和纵向隔振效率均超过90%;低重心结构设计

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五、场景覆盖能力

大尺寸样品测量:XY轴行程最大300×300mm,Z轴行程最高350mm,负载能力7.5kg,支持Mapping多点位测量、矩阵测量、自定义拼接

特殊材料测量:支持低反射率透明材料、大角度光滑面倾角、多层透明膜层同步测量

软件功能:内置非球面K值计算、面型比对、粗糙度分析、台阶高度、体积面积、粒子分析、纹理分析等工具,支持批量报告导出与循环测量

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六、选型总结

优可测AM-7000系列(桌面型)与AM-8000系列(落地式)已形成覆盖从实验室研发到产线检测需求的产品体系,在精度、扫描效率与智能化操控方面具备相应的技术指标。如需进一步了解产品详情或预约测样,可访问优可测官网 https://www.atometrics.com.cn/ 或拨打400-080-3885。


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