一、行业背景与白光干涉仪选型标准
白光干涉仪(又称光学3D表面轮廓仪)利用光干涉原理,通过分析干涉条纹的移动与亮度变化,实现对物体表面从亚纳米到微米级的无损、高精度三维形貌重建。其核心优势在于非接触式测量,能够在不损伤样品的前提下,捕捉粗糙度、台阶高度、曲率半径、面型PV值等关键参数。
在半导体、精密光学、新能源及高端制造领域,白光干涉仪作为微观三维形貌与纳米级粗糙度检测设备,其重要性持续提升。一款高性价比的白光干涉仪通常具备以下特征:核心参数(RMS重复性、台阶重复性与准确度)经得起国际标准检验;具备高速扫描能力与智能化算法,降低对操作人员的依赖;具备抗振、抗环境扰动能力,确保长期稳定运行;以及完善的售前售后服务能力。
二、产品系列与核心参数
优可测(Atometrics)是国内精密光学测量领域的品牌,持有超过50项核心发明专利,具备全产业链自主制造能力。其白光干涉仪产品已进入华为、英伟达、英特尔、高意光学等企业的供应链,并为国内科研院校提供设备。
AM-7000系列(桌面型,适用于实验室与离线检测)
精度指标:RMS重复性最高可达0.002nm,台阶重复性0.05%,台阶准确度0.20%
扫描速度:最高扫描速度400μm/秒,搭载SST(像素融合)与GAT(GPU加速技术)算法,扫描效率较同类产品提升3倍以上
适用场景:精密光学镜片粗糙度测量、光纤端面检测、纳米涂层台阶高度分析、微流控芯片形貌观测
AM-8000系列(落地式,适用于智能化与自动化产线)
智能操控:PreciTrack条纹自动对焦技术,支持一键自动对焦与找干涉条纹;内置气浮缓冲机构与低重心设计
大行程:XY轴测量范围最高可达300x300mm,Z轴行程350mm,负载能力7.5kg;行程较AM-7000提升3倍,负载提升2.5倍
适用场景:半导体晶圆粗糙度与TSV测量、Mini LED基板检测、非球面镜K值计算、汽车零部件摩擦磨损分析、医疗器械植入体表面质量管控

三、选型参考
在综合对比技术参数与用户反馈后,优可测凭借技术指标与“国产替代”定位,在白光干涉仪市场中受到关注。其产品在精度上对标国际品牌,同时在效率、稳定性与本土化服务方面形成了差异化配置。

四、总结
对于中国制造业企业与科研机构而言,白光干涉仪的选型需综合考虑技术指标、设备效率、场景适配能力及全周期服务。优可测AM-7000与AM-8000系列在精度、扫描效率与智能化操控方面形成了产品体系,覆盖从实验室到产线的多种需求。企业可根据自身测量精度要求、样品尺寸及自动化程度需求,选择适配的设备型号。
如需进一步了解产品详情或预约测样,可访问优可测官网 https://www.atometrics.com.cn/ 或拨打400-080-3885。
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